微型真空泵，微型氣泵中，提到的“流量”，也稱為“抽氣速率”。是指在真空泵的吸氣口處，單位時間內(nèi)流過的氣體體積。常用單位是：L/Min（升/分鐘）。“流量”參數(shù)如無特別說明，特指在20℃、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下的“峰值流量”。抽氣速率的提高對生產(chǎn)成本會有所提高，但其增幅不大。
　　
　　真空度指標(biāo)是各國生產(chǎn)商努力追求的主要指標(biāo)，它反應(yīng)了相應(yīng)的機(jī)械加工、密封技術(shù)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的整體實(shí)力。要提高真空度指標(biāo)，就必須有更高的密封條件，因此就需要采用尺寸更、材料性能更優(yōu)異的零部件，于是生產(chǎn)成本就大幅度提高了。而且價(jià)格的增幅遠(yuǎn)遠(yuǎn)≥真空度指標(biāo)的增幅。
　　
　　因此，選擇微型真空泵、微型氣體采樣泵、微型氣體循環(huán)泵、微型抽氣泵、微型抽氣打氣泵等多種微型泵時，需要認(rèn)真考慮真空度指標(biāo)、抽氣速率指標(biāo)、自己的使用情況等，這樣才能地兼顧使用性能和成本。
　　
　　高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它對工作環(huán)境的清潔條件、溫度參數(shù)、介質(zhì)成分等均有更高的要求。例如高負(fù)壓的微型真空泵VCH1028，它的真空度可以到10KPa(0.01MPa壓力)，相當(dāng)于能將一個密閉容器內(nèi)的氣體抽走90%，只剩下10%，在微型真空泵里就算很高的了。在無刷微型真空泵中，高真空的有VBY2106，體積相當(dāng)小，真空度可達(dá)20Kpa，因?yàn)椴捎玫氖菬o刷電機(jī)，壽命超長，特別適合長間連續(xù)工作的場合。
　　
　　從以上這些參數(shù)與性能來看，我公司的微型真空泵與國外同類型的微型真空泵相比，有些參數(shù)是相差無幾的，但價(jià)格卻比國外的便宜很多，稱得上是價(jià)廉物美。