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安徽鼎諾儀器科技有限公司


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tc wafer晶圓熱電偶溫度傳感器,晶圓測(cè)溫

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)TC WAFER

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地合肥市

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更新時(shí)間:2023-08-08 14:21:27瀏覽次數(shù):670次

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經(jīng)營(yíng)模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:11條

所在地區(qū):安徽合肥市

聯(lián)系人:高飛 (市場(chǎng)部)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

tc wafer晶圓熱電偶溫度傳感器,晶圓測(cè)溫,晶圓測(cè)溫系統(tǒng),晶圓溫度傳感器溫度控制對(duì)于半導(dǎo)體制造過程至關(guān)重要,它直接影響集成電路的質(zhì)量和可靠性。TC Wafer(熱電偶)晶圓熱電偶的開發(fā)和應(yīng)用,用于半導(dǎo)體制造中準(zhǔn)確可靠的溫度測(cè)量。TC Wafer晶圓熱電偶通過微制造技術(shù)在硅晶圓表面制作而成。通過校準(zhǔn)和與參考熱電偶的比較,評(píng)估了TC Wafer晶圓熱電偶的性能。結(jié)果表明,TC Wafer晶圓熱電偶

詳細(xì)介紹

tc wafer晶圓熱電偶溫度傳感器,晶圓測(cè)溫,晶圓測(cè)溫系統(tǒng),晶圓溫度傳感器

TC Wafer晶圓熱電偶在半導(dǎo)體制造中的溫度測(cè)量        

        溫度控制對(duì)于半導(dǎo)體制造過程至關(guān)重要,它直接影響集成電路的質(zhì)量和可靠性。TC Wafer(熱電偶)晶圓熱電偶的開發(fā)和應(yīng)用,用于半導(dǎo)體制造中準(zhǔn)確可靠的溫度測(cè)量。TC Wafer晶圓熱電偶通過微制造技術(shù)在硅晶圓表面制作而成。通過校準(zhǔn)和與參考熱電偶的比較,評(píng)估了TC Wafer晶圓熱電偶的性能。結(jié)果表明,TC Wafer晶圓熱電偶在半導(dǎo)體制造過程中溫度測(cè)量方面具有可行性和有效性。 

1.背景:   

       溫度控制是半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵因素,它直接影響集成電路的性能和可靠性。傳統(tǒng)的溫度測(cè)量方法,如熱電偶或電阻溫度探頭(RTD),在空間分辨率和測(cè)量精度方面存在局限性。TC Wafer晶圓熱電偶通過在硅晶圓表面提供分布式溫度測(cè)量能力,為解決這一問題提供了有希望的解決方案。本文介紹了TC Wafer晶圓熱電偶在半導(dǎo)體制造中溫度測(cè)量方面的開發(fā)和應(yīng)用。

2.TC Wafer晶圓熱電偶的制備:       

       TC Wafer晶圓熱電偶是通過微制造技術(shù)在硅晶圓表面制作而成。制備過程涉及在熱電偶結(jié)點(diǎn)處沉積不同成分的薄膜金屬層。制備過程經(jīng)過優(yōu)化,以確保TC Wafer晶圓熱電偶的高精度和穩(wěn)定性。 

3.校準(zhǔn)和表征:       

       TC Wafer晶圓熱電偶與參考熱電偶進(jìn)行校準(zhǔn),確定其準(zhǔn)確性和線性度。校準(zhǔn)過程在廣泛的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行,以評(píng)估TC晶圓熱電偶在不同工作條件下的性能。表征包括測(cè)量不確定度、溫度響應(yīng)時(shí)間和長(zhǎng)期穩(wěn)定性的評(píng)估。

4.在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用:        

       TC Wafer晶圓熱電偶應(yīng)用于各種半導(dǎo)體制造過程,如擴(kuò)散、氧化和外延。TC晶圓熱電偶的分布式溫度測(cè)量能力提供了有關(guān)這些過程中溫度分布和均勻性的寶貴信息。從TC晶圓熱電偶獲得的實(shí)時(shí)溫度數(shù)據(jù)用于工藝優(yōu)化和控制,從而提高產(chǎn)品質(zhì)量和良率。 

5.技術(shù)要求 

硅片尺寸:2,3,4,5,6,8,12寸 

測(cè)溫點(diǎn)數(shù):1-66點(diǎn) 

溫度范圍:0-1200度 

數(shù)據(jù)采集系統(tǒng):1-66路 

定制分析軟件 

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