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300鐘罩鍍膜機

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更新時間：2022-11-20 15:26:42瀏覽次數(shù)：251次

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伊特克斯公司

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產品簡介

300鐘罩鍍膜機

詳細介紹

型號		EVAP400S
主真空室		方形前開門結構，尺寸L×W×H:400×400×450mm
進樣室(選配)		開門結構，尺寸約為?200 X 300mm
真空系統(tǒng)配置	主真空室	復合分子泵、機械泵、氣動閘板閥
真空系統(tǒng)配置	進樣室	機械泵、分子泵、閥門
極限壓力	主真空室	≤6. 67x10-5pa(經烘烤除氣后）
極限壓力	進樣室	≤6.67X10-4 pa(經烘烤除氣后）
恢復真空時間	主真空室	30分鐘可達到6. 6x10-4 pa(系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣開始抽氣）
恢復真空時間	進樣室	30分鐘可達到6. 6x10-3 Pa (系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣開始抽氣）
磁控靶組件		2-4套永磁靶；靶材尺寸?60mm (其中一個可濺射磁性材料）；各靶射頻濺射和直流濺射兼容；靶內水冷；三個靶可共同折向上面的樣品中心；靶與樣品距離90~110mm可調；每個靶配氣動擋板。
基片加熱臺	樣品尺寸	?3英寸
	運動方式	基片可連續(xù)回轉，轉速0-30rpm
	加熱	基片加熱溫度600℃±1℃
	擋板形式	進口SMC轉角氣缸控制
工藝氣路系統(tǒng)		質量流量控制器2-4路
*可選部件	進樣室磁控靶組件	永磁靶，靶材尺寸? 60mm。
	膜厚儀	國產/進口
	氣泵	無油潤滑
	計算機控制系統(tǒng)	自動控制、工藝讀入、參數(shù)設置、實時監(jiān)控等功能
設備占地面積	主機	1800X1200mm2
設備占地面積