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湖南楚一機電有限公司
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CYR-E-NMP在線NMP濃度檢測儀 助力半導體清洗提升良率
| 參考價: | ￥ 9999 | ￥ 8888 |
| 訂貨量: | 1套 | 10套 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- CYR-E-NMP 產(chǎn)品型號
- 楚一測控 品牌
- 生產(chǎn)商 廠商性質(zhì)
- 長沙市 所在地
訪問次數(shù)：22更新時間：2025-07-08 15:33:00
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- 湖南省長沙市開福區(qū)中青路1048號長沙醫(yī)藥健康產(chǎn)業(yè)園3棟8樓
- 網(wǎng)址：
- www.cy-mc.net
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產(chǎn)品簡介
| 產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 在線 |
|---|---|---|---|
| 數(shù)顯功能 | 有 | 溫控功能 | 有 |
| 測量范圍 | 0 - 100% | 測量精度 | ±0.1% |
| 測量溫度 | 0至130℃ | 溫度補償 | 0-130℃ |
| 觸液面材質(zhì) | 超純PTFE或PFA | 輸入電源 | DC 24V |
| 信號輸出 | DC 4-20mA & RS485 | 防護等級 | IP65 |
| 工藝壓力 | ≤1 MPa | 清洗選項 | 可選自動清洗組件 |
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品介紹
在半導體清洗工藝中，控制 NMP 濃度至關重要，而基于折光原理的在線NMP濃度檢測儀正是該領域的主流選擇之一，能有效助力半導體清洗提升良率。
半導體清洗需要控制 NMP濃度。NMP是高效的光刻膠剝離劑和清洗溶劑，濃度直接影響其溶解能力。濃度過低會導致清洗困難，出現(xiàn)光刻膠殘留；濃度過高則可能造成過度刻蝕或損傷敏感結構。此外，濃度波動會使晶圓批次間的清洗效果出現(xiàn)差異，成為良率波動的潛在因素。
在線NMP濃度檢測儀檢測NMP濃度具有諸多優(yōu)勢。它能夠實時連續(xù)監(jiān)測，提供每秒更新的濃度數(shù)據(jù)，及時反饋清洗槽或循環(huán)管路中 NMP 的實際狀態(tài)，快速響應異常情況，避免整批晶圓報廢?，F(xiàn)代在線折光儀在 NMP 的典型工作濃度范圍內(nèi)精度高，測量基于物理光學原理，不受溶液顏色、氣泡、懸浮物等干擾，穩(wěn)定性優(yōu)于電導率或 pH 法。儀表設計良好，無耗材，減少長期運營成本和維護頻次。
在半導體清洗中，NMP 濃度在線分析儀有多個典型應用點，如光刻膠剝離槽主槽或循環(huán)管路中 NMP 工作液濃度的實時監(jiān)控與自動補液，清洗 / 漂洗槽監(jiān)控 NMP 殘留或回收液濃度，NMP 回收系統(tǒng)監(jiān)測蒸餾提純后 NMP 的純度，以及廢液處理前監(jiān)控確保廢液濃度符合處理裝置要求。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號 | CYR-E-NMP |
測量項目 | 折射率、溫度、濃度 |
測量范圍 | 0-100% |
分 辨 率 | 0.01% |
重復精度 | ± 0.02% |
測量溫度 | 0至130℃ |
溫度補償 | 0-130℃ |
關鍵材質(zhì) | 觸液面材質(zhì)：超純PTFE或PFA；外殼：襯氟 |
| 棱鏡材質(zhì) | 光學級藍寶石 |
信號輸出 | DC4至20mA & RS485；2路開關量信號輸出 |
| 輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
防護等級 | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa（10Bar）更高壓力等級可定制 |
尺寸重量 | 傳感器：￠119 * 188mm / 約2.0KG |
安裝選項 | 1/2英寸管路安裝 |
| 其他功能 | 多功能主機操作面板可查看濃度、溫度、折射率等數(shù)據(jù) 支持故障碼提示、一鍵校零、恢復出廠設置、曲線記錄及數(shù)據(jù)導出等功能 |
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