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動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀D-SIMS

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束蘊(yùn)儀器（上海）有限公司

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ADEPT-1010 專(zhuān)為淺層半導(dǎo)體注入和絕緣薄膜的自動(dòng)分析而設(shè)計(jì)，是大多數(shù)半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)和支持實(shí)驗(yàn)室的常用工具。

詳細(xì)介紹

ADEPT-1010 專(zhuān)為淺層半導(dǎo)體注入和絕緣薄膜的自動(dòng)分析而設(shè)計(jì)，是大多數(shù)半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)和支持實(shí)驗(yàn)室的常用工具。通過(guò)優(yōu)化的二次離子收集光學(xué)系統(tǒng) 和超高真空設(shè)計(jì)，提供了薄膜結(jié)構(gòu)檢測(cè)中的摻雜組分和常見(jiàn)雜質(zhì)所需的靈敏度。

特點(diǎn):

1）大束流低能量離子設(shè)備設(shè)計(jì)，極大的提高了深度分辨率

2）高性能離子光學(xué)系統(tǒng)，改善了二次離子傳輸效率，在提高分析效率的同時(shí)又提高了檢測(cè)靈敏度

3）高精度全自動(dòng)5軸樣品操控臺(tái)

4）不同方向進(jìn)入檢測(cè)器的二次離子，均可被高靈敏地收集檢測(cè)

應(yīng)用實(shí)例分析

采用一次離子源Cs在加速5kV束流為100nA的條件下，分析GaAs中注入的H，C，O元素?？梢钥吹紿檢測(cè)限值7.1X1016 atm/cm3，O檢測(cè)限值4.4X1015 atm/cm3，C檢測(cè)限值2.0X1015 atm/cm3。