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ENTEGRIS流量控制器InVue6550

參   考   價: 1300

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地天津市

更新時間:2024-05-15 16:06:32瀏覽次數(shù):368次

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ENTEGRIS流量控制器InVue6550
Entegris 正在使用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今的流量控制挑戰(zhàn)。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學(xué)品流量控制而設(shè)計。

產(chǎn)品名稱:ENTEGRIS流量控制器InVue6550

產(chǎn)品型號:InVue6550

產(chǎn)品介紹

Entegris 正在使用創(chuàng)新的流量控制技術(shù)解決當(dāng)今的流量控制挑戰(zhàn)。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學(xué)品流量控制而設(shè)計。 IFC 6550 型設(shè)計的流速為 60、90 或 120 L/min,非常適合用于次晶圓廠散裝化學(xué)品輸送應(yīng)用以及需要高流量的液體處理系統(tǒng)。集成流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測量技術(shù)和的閉環(huán)過程控制。 視覺指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報狀況提供診斷,使用戶能夠集成更多的過程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型設(shè)計用于超純液體化學(xué)品、去離子水和 CMP 漿料應(yīng)用。 它還設(shè)計用于控制氣泡產(chǎn)生介質(zhì)。

ENTEGRIS流量控制器InVue6550 性能特點

●使用成熟可靠的差壓流量測量技術(shù)和的閉環(huán)過程控制

●視覺指示器為預(yù)防性維護(hù)、故障排除和警報狀況提供診斷

●集成壓力傳感器提供額外的過程信息

●使用氣泡產(chǎn)生介質(zhì)經(jīng)過驗證的測量和控制

●堅固的設(shè)計提供穩(wěn)定性和長期可靠性

●設(shè)計為 60、90 或 120 L/min流速

參數(shù):

●流量控制精度:滿刻度的±1%(使用去離子水在23°C[73°]下校準(zhǔn))

●重復(fù)性:滿量程的±0.5%

●壓力測量輸出:0–689 kPa(0-100 psig)

●壓力精度:滿量程的±1%

●工作壓力:

103–552千帕(15–80磅/平方英寸)(60升/分鐘,90升/分鐘)

172–552千帕(25–80磅/平方英寸)(120升/分鐘)

●輸出信號:兩個4–20 mA電隔離輸出,一個用于流量,另一個用于壓力

●響應(yīng)時間:

≥15磅/平方英寸(60升/分鐘,90升/分鐘)時<3秒

≥25磅/平方英寸(120升/分鐘)時<3秒

●非操作超壓限值:827 kPa(120 psig)

●工藝溫度:10–65°C(50–149°F)

●電氣輸入:1.2安培時為24 VDC(±10%)

●設(shè)定值輸入信號:4–20 mA,0–10 VDC

●外殼:IP54

●重量:3.2千克(7磅)

●產(chǎn)地:美國



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