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廣電計量檢測集團股份有限公司

邊緣濕法刻蝕設備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱盛美半導體設備(上海)股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 更新時間2023/8/12 7:37:37
  • 訪問次數(shù)2561
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盛美成立于2005年,是一家注冊在上海浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)、具備領先技術(shù)的半導體設備制造商。公司集研發(fā)、設計、制造、銷售于一體,主要產(chǎn)品包括半導體清洗設備、半導體電鍍設備和先進封裝濕法設備等。公司堅持差異化競爭和創(chuàng)新的發(fā)展戰(zhàn)略,通過自主研發(fā)的單片兆聲波清洗技術(shù)、單片槽式組合清洗技術(shù)、電鍍技術(shù)、無應力拋光技術(shù)和立式爐管技術(shù)等,向全球晶圓制造、先進封裝及其他客戶提供定制化的設備及工藝解決方案,有效提升客戶的生產(chǎn)效率、提升產(chǎn)品良率并降低生產(chǎn)成本。
 
盛美具有高新技術(shù)企業(yè)資質(zhì),承擔十一五國家科技重大專項課題“65-45nm銅互連無應力拋光設備研發(fā)項目”的研發(fā)和十二五國家科技重大專項課題“20-14nm銅互連鍍銅設備研發(fā)與應用”和“45-22納米單片晶圓清洗裝備研發(fā)與應用”的研發(fā)。公司立足自主創(chuàng)新,通過多年的技術(shù)研發(fā)和工藝積累,成功研發(fā)出首個的 SAPS/TEBO 兆聲波清洗技術(shù)和 Tahoe 單片槽式組合清洗技術(shù),可應用于 28nm及以下技術(shù)節(jié)點的晶圓清洗領域,可有效解決刻蝕后有機沾污和顆粒的清洗難題,并大幅減少濃硫酸等化學試劑的使用量,在幫助客戶降低生產(chǎn)成本的同時,滿足節(jié)能減排的要求。
 
盛美憑借先進的技術(shù)和豐富的產(chǎn)品線,已發(fā)展成為中國大陸少數(shù)具有一定國際競爭力的半導體專用設備提供商,產(chǎn)品得到眾多國內(nèi)外主流半導體廠商的認可,并取得良好的市場口碑。
清洗設備
盛美上海的邊緣濕法刻蝕設備支持多種器件和工藝,包括3D NAND、DRAM和先進邏輯工藝,使用濕法刻蝕方法來去除晶圓邊緣的各種電介質(zhì)、金屬和有機材料薄膜,以及顆粒污染物。
邊緣濕法刻蝕設備 產(chǎn)品信息

邊緣濕法刻蝕設備

  

主要優(yōu)勢

用于晶圓邊緣多種不同疊加薄膜層的刻蝕清洗,提高先進工藝的晶圓邊緣良率

高刻蝕精度,刻蝕寬度大小可調(diào)

自主技術(shù)可做到更精準高效的晶圓對準,控制精度高、均勻性高,可實現(xiàn)精準邊緣刻蝕

高產(chǎn)能,低化學品消耗

設備和工藝可擴展至10nm以下工藝技術(shù)節(jié)點

對下層材料刻蝕具有高選擇比,對晶圓無損傷的特點

出色的晶圓邊緣清洗能力,更好的顆??刂?/p>

可靈活應用于多種襯底材料,包括重摻雜片、Bonding 片、超薄片等


特性和規(guī)格

適用于12寸晶圓邊緣清洗

最多可配置4個Lord Port

可配置12個工藝腔體

真空夾盤對晶圓進行夾持

可對晶圓正背面邊緣進行清洗,最多可配備5種藥液進行清洗工藝

每個腔體均配置高精度的晶圓對中單元

可配置高精度的晶圓邊緣檢測單元

產(chǎn)品對比
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