真空區(qū)域的劃分及前級(jí)真空泵的選擇

【資料簡(jiǎn)介】

真空泵真空區(qū)域的劃分 真空區(qū)域 壓強(qiáng)范圍 托（Torr） 帕（Pa） 低真空 760~10 101325~1333 中真空 10~10-3 1333~1.33×10-1 高真空 10-3~10-8 1.33×10-1~10-6 超高真空 10-8~10-12 10-6~10-10 *真空 ＜10-12 ＜10-10 對(duì)于需要配前級(jí)泵的抽氣機(jī)組，主泵選完之后，重要的問題是如何選配合適的前級(jí)泵和預(yù)抽泵。選配前級(jí)泵的原則是：     （1）前級(jí)泵在主泵出口處造成的壓力應(yīng)低于主泵的zui大排氣壓力     （2）前級(jí)泵應(yīng)保證始終及時(shí)排出主泵所排出的氣體流量。     （3）兼作預(yù)抽泵的前級(jí)泵要滿足預(yù)抽時(shí)間及預(yù)抽真空度的要求。     根據(jù)主泵的工作特性不向，配泵可分為兩種情況：一種是主泵需要配前級(jí)泵，如擴(kuò)散泵、分子泵等；另一種是主泵只需要配預(yù)抽真空泵，而不需要配前級(jí)泵，如各種吸附冷凝泵等。      主泵配前級(jí)泵計(jì)算時(shí)，需要前級(jí)泵在主泵出口處形成的壓力始終低于該泵的zui大排氣壓力，主真空泵才能正常工作。普通的油擴(kuò)散泵的zui大排氣壓一般為26~40Pa左右；油增壓泵的zui大排氣壓力一般為130~260yPa左右。 真空泵：雙級(jí)旋片式真空泵     直聯(lián)水環(huán)式真空泵   小型真空泵   2X旋片真空泵