激光干涉儀是一種以光波為載體，以光波波長為單位的測量方法，是高精度、高靈敏度的檢測方法，廣泛應(yīng)用于制造領(lǐng)域。激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測量的優(yōu)點，是校準(zhǔn)數(shù)字機床、坐標(biāo)測量機及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器，掌握一些激光干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。
激光干涉儀的使用技巧：
一、Z軸激光光路的快速準(zhǔn)直方法。當(dāng)激光干涉儀用于線性測量時，在Z軸測量中校準(zhǔn)激光光路比在X軸和Y軸測量中困難得多。特別是在Z軸距離較長的情況下，往往需要很長時間對激光光路進行準(zhǔn)直，才能保證被反射鏡反射回激光探測器的激光束的強度能夠滿足對光強的測量要求。Z軸激光光路快速準(zhǔn)直法的具體調(diào)整方法是：將Z軸放在較低的位置，用激光器外殼中間的瞄準(zhǔn)槽將分束器放在Z軸的正對面，左右移動Z軸觀察激光光路，保證激光轉(zhuǎn)彎后與Z軸大致平行，將直線鏡和光靶左右移回Z軸，激光打在鏡面光靶上。在激光干涉儀的初始調(diào)整之后，固定分光鏡并在其上安裝光靶?！罢w"調(diào)整準(zhǔn)確對準(zhǔn)光靶后，移開分光鏡光靶，抬高Z軸，觀察激光對反射鏡光靶的偏離程度。同時，通過“尾部"調(diào)整使激光對準(zhǔn)反射鏡光靶。如果分光鏡在這個過程中由于“尾巴"調(diào)整擋住了部分激光，停止Z軸上升回到開始，重新調(diào)整“整體"然后再上升Z軸，繼續(xù)調(diào)整“尾巴"，觀察激光在反射鏡靶上的偏離程度。重復(fù)整個過程，往往幾次，以達到對齊的要求。
二、輔助工具的選擇。雖然激光干涉儀的安裝部件比較齊全，但是在實際使用過程中還需要配置一些額外的輔助工具：1、開發(fā)低高度云臺支架。機床工作臺高度的一部分基本與地面平齊，所以在測量Z軸的時候，如果用激光干涉儀原來的三腳架和搖籃把激光放在地面上，肯定會因為三腳架本身的高度而失去測量范圍。2、選擇磁性手表底座。磁臺架是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時要注意。工作臺支架的工作面上應(yīng)該有螺孔，以安裝鏡頭組的安裝桿，應(yīng)分別選擇底部和側(cè)面有主磁吸附面的兩個桌托。
激光干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高速度下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)元件，可以實現(xiàn)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以測試數(shù)控機床的動態(tài)性能，測試分析機床的振動，分析滾珠絲杠的動態(tài)特性，分析驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性，分析導(dǎo)軌的動態(tài)特性等。激光干涉儀具有較高的精度和效率，為機床的誤差修正提供了依據(jù)。
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