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北京北方華瑞測控技術(shù)有限公司

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金屬密封型質(zhì)量流量計控制器

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產(chǎn)品型號5100系列

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更新時間：2017-08-20 13:10:05瀏覽次數(shù)：2450次

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北京北方華瑞測控技術(shù)有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：141條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：楊小姐（網(wǎng)絡(luò)）

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產(chǎn)品簡介

【5100系列金屬密封型質(zhì)量流量計控制器設(shè)計特點】- 高精度控制，- 全316L結(jié)構(gòu)- 金屬密封

詳細介紹

【概述/特點】
KOFLOC公司簡介:
日本Kofloc公司是一家專業(yè)制造質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器的廠家,在有廣泛的銷售和應(yīng)用.該公司產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,LCD,燃燒,實驗室分析,生物工藝等場合.
【技術(shù)規(guī)格】

5100系列金屬密封型質(zhì)量流量計控制器

多種范圍量程，實現(xiàn)高精度的快速控制
流量范圍：10～500SCCM，1～5SLM，10～20SLM
控制閥：常閉，電磁隔膜閥
反應(yīng)時間：滿量程2%范圍內(nèi)≤1.5秒
精度：±1%以內(nèi)
線性：±0.5%以內(nèi)
重復(fù)性：±0.2%以內(nèi)
使用壓差：范圍≤5SLM時，49～294KPA，5SLM <范圍≤20SLM時，98～294KPA
壓力限制：980KPA
泄露率：1×10–11 Pa?m3/second 或更小
操作溫度：0～50°C
接觸介質(zhì)的材質(zhì)： SUS316L，Au,PTFE
連接：， 1/4VCR,可選1/4SWL
控制信號：0-5VDC
輸出信號：0-5VDC
電源：+15 VDC （±15%） 100 mA ， –15 VDC （±15%） 200 mA
安裝方向：任何方位

關(guān)鍵詞：質(zhì)量流量計質(zhì)量流量控制器流量計控制閥

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