聯(lián)合自旋設(shè)施利用磁控濺射制備了Ni80Fe20/SiO2/Cu復(fù)合構(gòu)造絲,生動(dòng)Cu絲直徑為60絲米,SiO2薄厚為3.75絲米,經(jīng)過(guò)掌握濺射工夫改觀鐵磁層薄厚。鉆研了薄厚對(duì)資料磁阻抗效應(yīng)等磁性能的莫須有,后果表明當(dāng)Ni80Fe20薄厚為2.55絲米時(shí),復(fù)合構(gòu)造絲對(duì)外場(chǎng)銳敏度可達(dá)121%/Oe。一、小引
巨磁阻抗(GMI)效應(yīng)是指鐵磁資料的交換阻抗在附加直流磁場(chǎng)的作用下會(huì)產(chǎn)生顯著變遷的景象。自1992年由阿曼迷信家Mohri等在Co基非晶絲中發(fā)現(xiàn)以來(lái),在物理機(jī)理上和理論利用上都導(dǎo)致人們極大的關(guān)注。因?yàn)镚MI效應(yīng)存在銳敏度高,*快,飽和磁場(chǎng)低等長(zhǎng)處,使得GMI效應(yīng)在磁傳感器上有很好的利用前景。
近年來(lái),人們不僅在相反軟磁資料組成的勻質(zhì)絲、條帶、地膜發(fā)現(xiàn)較大的GMI效應(yīng)外,還在復(fù)合構(gòu)造絲和三明治地膜中視察到GMI效應(yīng)。與勻質(zhì)資料相比,復(fù)合構(gòu)造資料中的GMI效應(yīng)體現(xiàn)出兩個(gè)重要特點(diǎn):*是GMI效應(yīng)顯著加強(qiáng);另外就是在比擬低的效率下就能夠視察到顯然的MI變遷,因而這種復(fù)合構(gòu)造資料更無(wú)利于兌現(xiàn)傳感器等敏感器件的微型化和實(shí)用性。
眼前制備復(fù)合構(gòu)造絲步驟可分為物理步驟和化學(xué)步驟兩種,物理步驟有冷拉和磁控濺射,化學(xué)步驟有鍍銀和化學(xué)鍍。磁控濺射步驟制備復(fù)合絲,須要同聲細(xì)絲自旋以鍍層勻稱。
白文基于磁控濺射技能制備了相反鐵磁層薄厚的復(fù)合構(gòu)造細(xì)絲,并鉆研了薄厚對(duì)資料磁性能莫須有。二、試驗(yàn)
Ni80Fe20/Cu和Ni80Fe20/SiO2/Cu復(fù)合構(gòu)造絲利用磁控濺射室溫制得。制備前,60絲米Cu絲先后浸入鹽酸*和10%*中去除黏附在銅絲名義的油脂和氧化物,歷次均用去離子水蕩滌腌臜。濺射內(nèi)中中,銅絲以每秒鐘120周進(jìn)度自旋,已失去鍍層勻稱。本底真空為2×10-4Pa,濺射SiO2和Ni80Fe20內(nèi)中,壓強(qiáng)別離為0.8Pa和0.65Pa,濺射功率別離為70W和230W,對(duì)應(yīng)濺射速率為43.75nm/min和12.5nm/min。維持涂層薄厚3.75絲米一成不變,掌握濺射工夫失去相反薄厚的復(fù)合構(gòu)造絲。
樣品形貌和薄厚利用SEM測(cè)量,利用振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)測(cè)量了樣品的磁滯回線,磁阻抗利用HIOKI3532LCR阻抗綜合儀測(cè)試,測(cè)量效率從100Hz到120MHz。附加直流磁場(chǎng)由Helmholtz線圈提供,磁場(chǎng)規(guī)模為0~120Oe。為縮小地磁場(chǎng)的莫須有,Helmholtz線圈的磁場(chǎng)位置應(yīng)與地磁場(chǎng)垂直。阻抗比的變遷界說(shuō)為:
其中,ZH(ext)為附加磁場(chǎng)為extH時(shí)的阻抗值。三、后果與探討
圖一(a)是Ni80Fe20/Cu的SEM照片,其中鐵磁層薄厚為0.9絲米,能夠看出樣品名義比較潤(rùn)滑*,圖一(b-d)是Ni80Fe20/SiO2/Cu復(fù)合構(gòu)造絲的SEM照片,其中SiO2的薄厚為3.75絲米,鐵磁層Ni80Fe20的薄厚別離為2.1、2.55和3絲米,圖中看出鐵磁層名義存在很多晶粒而夾板氣滑,隨著薄厚增多,晶粒減小,趨于平滑。這重要是因?yàn)橥繉拥拇嬖谑沟镁Ц耦愋褪湔兄?,隨著濺射工夫增多,腔體內(nèi)熱度升高,層間黏著力升高,而且“厚層”Ni80Fe20是在“薄層”Ni80Fe20上成長(zhǎng)的晶格匹配較好,故而隨薄厚增多,名義趨于潤(rùn)滑。
圖一復(fù)合構(gòu)造絲的SEM照片
圖2(a)是Ni80Fe20/SiO2/Cu復(fù)合構(gòu)造絲的磁滯回線,2(b)是矯頑力和鐵磁層薄厚的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。圖中能夠看出當(dāng)Ni80Fe20薄厚為0.9和3.9絲米時(shí),鐵磁層磁構(gòu)造趨于軸向,對(duì)應(yīng)的矯頑力較大軟磁性能也較差。其它樣品磁構(gòu)造則趨于環(huán)向,對(duì)應(yīng)的矯頑力也小,薄厚為2.55絲米對(duì)應(yīng)的矯頑力zui小,無(wú)望失掉*軟磁特點(diǎn)。
圖3(a)是相反鐵磁層薄厚Ni80Fe20/SiO2/Cu復(fù)合構(gòu)造絲的磁阻抗效應(yīng)曲線,3(b)是曲線回升段對(duì)附加磁場(chǎng)的銳敏度。能夠看出zui大阻抗比和磁場(chǎng)銳敏度隨鐵磁層薄厚增多先增大后減小。zui大阻抗比涌現(xiàn)在Ni80Fe20薄厚為2.55絲米樣品,阻抗比和銳敏度別離高達(dá)655.65%和121%/Oe。該署后果與后面磁滯回線測(cè)試后果始終,隨著Ni80Fe20薄厚增多,環(huán)向磁構(gòu)造的產(chǎn)生招致環(huán)向靜態(tài)磁導(dǎo)率增多,進(jìn)而增大阻抗比。另一上面,因?yàn)榘才喽ɡ?,薄厚增多,使得作用在鐵磁層的感應(yīng)磁場(chǎng)減小,這會(huì)減小靜態(tài)磁化,兩上面競(jìng)爭(zhēng)的后果就是在生動(dòng)涂層薄厚時(shí),存在*鐵磁層薄厚。
圖4(a)是Ni80Fe20/SiO2/Cu復(fù)合構(gòu)造絲的頻帶圖,圖4(b)別離標(biāo)出了相應(yīng)的起始效率f0和特色效率fmax與鐵磁層薄厚的依賴關(guān)系。*,起始效率產(chǎn)生在趨膚深淺剛好與鐵磁層薄厚想后來(lái),關(guān)于環(huán)向構(gòu)造細(xì)絲來(lái)講,將會(huì)在外場(chǎng)與各向同性場(chǎng)想后來(lái)。從圖中看出f0和fmax均隨鐵磁層薄厚先減小后增多。zui小值產(chǎn)生在薄厚為2.55絲米樣品。zui近簡(jiǎn)報(bào)復(fù)合構(gòu)造絲的巨磁阻抗效應(yīng)仍取決于趨膚效應(yīng)。正是鐵磁層和導(dǎo)熱層之間的彼此作用加強(qiáng)了趨膚效應(yīng),使得GMIzui大值增大且效率向低端挪動(dòng)。
圖4相反鐵磁層薄厚樣品的磁阻抗頻帶圖及特色效率與鐵磁層薄厚關(guān)系而對(duì)準(zhǔn)復(fù)合構(gòu)造絲,迄今仍沒(méi)有趨膚深淺的抒發(fā)式,但咱們能夠猜想其仍為單質(zhì)資料趨膚深淺的那種因變量,能夠抒發(fā)為:
式中μΦ是鐵磁層中靜態(tài)環(huán)向磁導(dǎo)率,σ是電導(dǎo)率,ω是驅(qū)動(dòng)直流電的角效率。 那樣特色效率能夠粗略地示意為
其中d是復(fù)合構(gòu)造絲直徑,μΦS是飽和場(chǎng)120Oe下的飽和磁導(dǎo)率。
圖3中咱們還能夠看出,靜態(tài)環(huán)向磁導(dǎo)率μΦ和μΦS隨鐵磁層薄厚先增大后減小。依據(jù)公式(2)和(3)可知起始效率和特色效率隨薄厚有相同趨向,如圖4所示。四、論斷
制備了Ni80Fe20/SiO2/Cu復(fù)合構(gòu)造絲,并利用SEM、VSM、GMI等測(cè)試目的鉆研了鐵磁層薄厚與資料形貌構(gòu)造及磁性能關(guān)系,失去了*薄厚,并失去了銳敏度高達(dá)121%/Oe的敏感元件。