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化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐

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更新時(shí)間：2017-12-08 14:09:31瀏覽次數(shù)：477次

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株洲紅亞電熱設(shè)備有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：9條

所在地區(qū)：湖南株洲市

聯(lián)系人：言亞軍（總經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

株洲紅亞電熱設(shè)備有限公司生產(chǎn)的化學(xué)氣相沉積爐主要用途：
本化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產(chǎn)。

詳細(xì)介紹

特點(diǎn)：

采用多功能高溫設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積和石墨化處理一次性完成。

使用溫度高達(dá)2600，并可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定可靠運(yùn)行。

采用熱電偶和紅外測(cè)溫儀組合的測(cè)溫自動(dòng)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)全溫度段的顯示和控制。

采用IGBT為主功率器件的感應(yīng)加熱變頻控制系統(tǒng)，使得設(shè)備節(jié)能省電，諧波分量小，對(duì)外部設(shè)備無干擾。

進(jìn)出氣體的精確流量顯示和控制，保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無沉積死角，沉積效果好；

特制的過濾系統(tǒng)，對(duì)炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理；

化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐技術(shù)參數(shù)

參數(shù)

型號(hào)

HYSJL-3040

HYSJL-4050

HYSJL-5060

HYSJL-6080

HYSJL-8080

工作區(qū)尺寸DXH（mm)

Ф300X

400

Ф400X

500

Ф500X

600

Ф600X

800

Ф800X

800

zui高工作溫度（℃）

1500

2600

1500

2600

1500

2600

1500

2600

1500

2600

溫度均勻性（℃）

±7.5

工作電壓(V)

三相380

額定功率（KW)

150

160

200

160

350

工作氣氛

真空/氬氣/氮?dú)?氫氣/炳烷/石油天然氣

以上化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)參數(shù)可根據(jù)工藝參數(shù)進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)?？蓪⒒瘜W(xué)氣相沉積和高溫石墨化兩種功能分開，單獨(dú)做成化學(xué)氣相沉積爐和高溫石墨化爐。

關(guān)鍵詞：熱電偶紅外測(cè)溫儀