◆用工業(yè)微機(jī)對工藝時間,溫度,氣體流量,閥門動作,反應(yīng)室壓力實(shí)現(xiàn)全自動控制.
◆采用進(jìn)口壓力控制系統(tǒng),閉環(huán)系統(tǒng),穩(wěn)定性高.
◆采用進(jìn)口耐腐蝕不銹鋼管件,閥門,確保氣路氣密性.
◆具有完善的報警功能及安全互鎖裝置.
◆具有超高溫報警及欠溫報警,MFC報警,反應(yīng)室壓力報警,RF報警,高壓空氣壓力報警,N2壓力報警.水流報警等。

 

◆工藝過程*不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量*控；有毒害尾氣定向收集、集中處理排放；更加安全、環(huán)保。
◆裝片數(shù)量： 250片/每爐管
◆凈化臺潔凈度：100級（10000級廠房）
◆自動化程度：自動控制溫度及工藝過程。主控溫控模塊采用日本導(dǎo)電或同類品牌，可在達(dá)到±0.5℃的控制精度。
◆送取片方式：懸臂式推拉舟。我公司推拉系統(tǒng)采用光杠傳動系統(tǒng)，本系統(tǒng)比絲杠傳動系統(tǒng)運(yùn)行更平穩(wěn)，避免了推拉舟長時間運(yùn)行后由于絲杠變形引起的推拉舟的震動；防止突然斷電時，絲杠抱死，拖不出爐膛。

 

◆     溫度使用范圍：150～600℃

◆     極限真空度： 優(yōu)于1Pa

◆     壓力調(diào)節(jié)范圍：13～300Pa 連續(xù)可調(diào)，閉環(huán)控制

◆     射頻電源：    400KHz連續(xù)可調(diào)

◆     溫區(qū)長度（150～400℃）：1000mm

◆     溫區(qū)穩(wěn)定性（400℃）：   ±2℃

◆     溫區(qū)穩(wěn)定性（＜400℃）： ±3℃

◆     溫度梯度：    0～30℃/1000mm可調(diào)

◆     淀積速率：    30nm/min

◆     深層折射率： 1.9～2.2

◆     zui大可控升溫速度：15℃/min