ADEPT-1010 專為淺層半導(dǎo)體注入和絕緣薄膜的自動(dòng)分析而設(shè)計(jì),是大 多數(shù)半導(dǎo)體開發(fā)和支持實(shí)驗(yàn)室的常用工具。通過(guò)優(yōu)化的二次離子收集光學(xué)系統(tǒng) 和超高真空設(shè)計(jì),提供了薄膜結(jié)構(gòu)檢測(cè)中的摻雜組分和常見雜質(zhì)所需的靈敏度。
特點(diǎn):
1)大束流低能量離子設(shè)備設(shè)計(jì),極大的提高了深度分辨率
2)高性能離子光學(xué)系統(tǒng),改善了二次離子傳輸效率,在提高分析效率的同時(shí)又提高了檢測(cè)靈敏度
3)高精度全自動(dòng)5軸樣品操控臺(tái)
4)不同方向進(jìn)入檢測(cè)器的二次離子,均可被高靈敏地收集檢測(cè)
應(yīng)用實(shí)例分析
采用一次離子源Cs在加速5kV束流為100nA的條件下,分析GaAs中注入的H,C,O元素??梢钥吹紿檢測(cè)限值7.1X1016 atm/cm3,O檢測(cè)限值4.4X1015 atm/cm3,C檢測(cè)限值2.0X1015 atm/cm3。