石英管清洗機(jī)是專(zhuān)為半導(dǎo)體、光伏、光學(xué)、化工等高精度行業(yè)設(shè)計(jì)的自動(dòng)化清潔設(shè)備，針對(duì)石英管內(nèi)壁的油污、氧化物、顆粒殘留及工藝殘留物（如光刻膠、鍍膜殘留）等污染物，提供高效、無(wú)損傷的清洗解決方案。設(shè)備結(jié)合化學(xué)腐蝕、超聲波空化、高壓噴淋等技術(shù)，確保石英管潔凈度達(dá)到納米級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，滿(mǎn)足精密制造對(duì)潔凈度的嚴(yán)苛要求。

核心功能與技術(shù)優(yōu)勢(shì)

多模式復(fù)合清洗

化學(xué)腐蝕清洗：通過(guò)酸性或堿性清洗液（如HF、HCL、NH?OH）配合恒溫槽，溶解石英管表面的氧化層、金屬污染及頑固殘留物。

超聲波空化清洗：高頻振動(dòng)產(chǎn)生微射流，剝離附著在管壁的微粒與油污，尤其適用于狹窄管道和復(fù)雜結(jié)構(gòu)。

高壓噴淋沖洗：多角度噴淋系統(tǒng)配合可調(diào)壓力（0.2-0.8MPa），快速?zèng)_刷管內(nèi)殘留液體，避免二次污染。

高精度適配設(shè)計(jì)

管徑兼容：支持φ6-φ150mm石英管，適配單管、多管束及異形管道（如彎管、擴(kuò)口管）。

長(zhǎng)度靈活：可處理1米至6米長(zhǎng)管道，分段清洗避免應(yīng)力損傷。

定制化工裝：根據(jù)客戶(hù)管道規(guī)格定制夾持裝置，防止清洗過(guò)程中晃動(dòng)或碰撞。

智能控制系統(tǒng)

溫度與時(shí)間調(diào)控：內(nèi)置PID溫控模塊，精準(zhǔn)設(shè)定清洗液溫度（20-80℃），支持多階段加熱程序。

循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)：配備多級(jí)過(guò)濾（濾芯+紫外殺菌），實(shí)現(xiàn)清洗液循環(huán)利用，減少耗材成本。

數(shù)據(jù)追溯功能：記錄每次清洗參數(shù)（時(shí)間、溫度、流速），符合ISO潔凈度管理標(biāo)準(zhǔn)。

安全與環(huán)保設(shè)計(jì)

耐腐蝕材料：清洗槽采用PFA涂層或聚四氟乙烯材質(zhì)，抗氫氟酸腐蝕，延長(zhǎng)設(shè)備壽命。

廢液閉環(huán)處理：集成廢液收集系統(tǒng)，分類(lèi)回收酸堿液，避免環(huán)境污染。

防爆選項(xiàng)：可選配防爆電機(jī)與惰性氣體保護(hù)，適用于易燃易爆環(huán)境（如硅烷工藝后清洗）

技術(shù)參數(shù)

清洗方式：化學(xué)腐蝕 + 超聲波（頻率40kHz） + 高壓噴淋

適用管徑：φ6-φ150mm（可定制）

清洗長(zhǎng)度：1-6米（分段處理）

溫度范圍：20-80℃（±1℃）

時(shí)間設(shè)置：1-999分鐘（可調(diào)）

電源：AC 380V/50Hz（或定制防爆型）

功率：8-15kW（含加熱模塊）

潔凈度標(biāo)準(zhǔn)：達(dá)到SEMI C1級(jí)（可選C2、C3級(jí)）

應(yīng)用行業(yè)與場(chǎng)景

半導(dǎo)體制造：清洗擴(kuò)散爐石英管、光刻機(jī)光學(xué)管道、蝕刻反應(yīng)腔室。

光伏產(chǎn)業(yè)：去除直拉單晶硅石英坩堝的殘留石墨粉與雜質(zhì)。

光學(xué)儀器：清潔光譜儀、激光器中的石英透鏡套管。

化工領(lǐng)域：處理腐蝕性介質(zhì)輸送管道，恢復(fù)石英材料的耐腐蝕性。

實(shí)驗(yàn)室科研：清洗分析儀器（如色譜儀、質(zhì)譜儀）的石英流通池。