掃描電子顯微鏡 S-3700N的開發(fā)正是*考慮了上述廣泛的多元化應(yīng)用的需求，此款產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)配置包含一個(gè)二次電子檢測(cè)器，一個(gè)五段分割背散射電子(BSE)探測(cè)器和可變壓力(VP)模式。 這就使得絕大部分的樣品觀測(cè)，可以去除過去傳統(tǒng)的掃描電鏡必須的金屬噴涂，可在自然狀態(tài)下直接觀察含水樣品。
掃描電子顯微鏡(SEM)現(xiàn)今已經(jīng)延伸到廣大企業(yè)單位，不僅在學(xué)術(shù)研究領(lǐng)域，各行各業(yè)均有廣泛應(yīng)用，與此趨勢(shì)相對(duì)應(yīng)，用戶需要觀測(cè)和分析的樣品種類也有所擴(kuò)大。S-3700N的開發(fā)正是*考慮了上述廣泛的多元化應(yīng)用的需求，此款產(chǎn)品的標(biāo)準(zhǔn)配置包含一個(gè)二次電子檢測(cè)器，一個(gè)五段分割背散射電子(BSE)探測(cè)器和可變壓力(VP)模式。
這就使得絕大部分的樣品觀測(cè)，可以去除過去傳統(tǒng)的掃描電鏡必須的金屬噴涂，可在自然狀態(tài)下直接觀察含水樣品。
掃描電子顯微鏡 S-3700N有一個(gè)巨大的樣品室，可容納直徑達(dá)300 mm和高度達(dá)110 mm的樣品。樣品室設(shè)置有多種配件端口，可以適應(yīng)電鏡在當(dāng)今極其廣泛的應(yīng)用需求，這些配件包EDX，WDX，EBSD，樣品室監(jiān)視裝置，冷臺(tái)等。此款產(chǎn)品的多功能性以及靈活的系統(tǒng)配置，能夠很好地滿足您現(xiàn)今以及未來的各項(xiàng)需求。
特色
- 特大型的樣品室可裝載大直徑達(dá)300 mm的樣品，還可同時(shí)安裝EDX/WDX/EBSD等配件。其可載樣品高度可達(dá)110 mm。
- 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)優(yōu)中心傾斜、旋轉(zhuǎn)、圖像導(dǎo)航系統(tǒng)、樣品臺(tái)追蹤、軌跡存儲(chǔ)與中心復(fù)位等樣品臺(tái)的馬達(dá)控制功能。
- S-4800，SU-70及S-3400N均具有用戶友好的GUI設(shè)計(jì)，這使得操作者經(jīng)過簡(jiǎn)單培訓(xùn)即可操作。
- 顯示系統(tǒng)有全屏顯示，無(wú)閃爍，高像素和實(shí)時(shí)圖像顯示等優(yōu)異的性能，它還可以實(shí)時(shí)信號(hào)混合并同時(shí)顯示兩個(gè)不同的檢測(cè)器觀測(cè)到的互不相同的樣品信息。
- 可變壓模式不需要金屬噴涂，可以直接觀察不導(dǎo)電樣品。
- 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器可以在快速掃描模式下運(yùn)行，這使得尋找大尺寸樣品中感興趣的區(qū)域更為簡(jiǎn)單和便利。
- 標(biāo)準(zhǔn)配備渦輪分子泵(TMP)，其清潔和干燥的真空條件大限度地減少了樣品污染。區(qū)別于傳統(tǒng)的擴(kuò)散泵掃描電子顯微鏡，此款產(chǎn)品不需較大的加熱功率或循環(huán)水箱，從而使得它成為一款節(jié)能，生態(tài)環(huán)保的掃描電子顯微鏡。
規(guī)格參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 描述 | |
|---|---|---|
| 分辨率 | 二次電子分辨率 | 30 kV時(shí)，3.0 nm(高真空模式) |
| 3 kV時(shí)，10 nm(高真空模式) | ||
| 背散射電子分辨率 | 30 kV時(shí)，4.0 nm(低真空模式) | |
| 放大倍率 | ×5 - ×300,000 | |
| 加速電壓 | 0.3 - 30 kV | |
| 低真空范圍 | 6 – 270 Pa 圖形菜單 | |
| 圖像移動(dòng) | ±50 µm (WD= 10 mm) | |
| 大樣品尺寸 | Φ300 mm | |
| 樣品臺(tái) | X | 150 mm |
| Y | 110 mm | |
| Z | 5 - 65 mm | |
| R | 360° | |
| T | -20° - 90° | |
| 觀測(cè)區(qū)域 | Φ203 mm(可旋轉(zhuǎn)) | |
| 大高度 | 110 mm (WD= 10 mm) | |
| 樣品臺(tái)控制 | 計(jì)算機(jī)控制5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)優(yōu)中心 | |
| 電子光學(xué) | 電子槍 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 可移動(dòng)式4孔物鏡光闌 | |
| 槍偏壓 | 帶可控4偏壓 | |
| 檢測(cè)器 | 埃弗哈特 索恩利二次電子檢測(cè)器 | |
| 高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子探測(cè)器，五分割 | ||
| 分析位置 | WD = 10 mm, 取出角 = 35° | |
| 顯示器 | 控制模式 | 操縱桿，鍵盤和旋鈕 |
| 顯示器 | 19.1英寸液晶平面顯示器(如有更改，恕不另行通知) | |
| 自動(dòng)合軸 | 自動(dòng)設(shè)定束流，自動(dòng)合軸 | |
| 自動(dòng)圖像調(diào)整 | 自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消象散/聚焦，自動(dòng)調(diào)整亮度和對(duì)比度 | |
| 存儲(chǔ)圖像精度 | 640 × 480 像素, 1,280 × 960 像素 | |
| 2,560 × 1,920 像素, 5,120 × 3,840 像素 | ||
| 圖像文件格式 | BMP, TIFF, JPEG | |
| 圖像顯示模式 | 全屏顯示：1,280 × 960 像素 | |
| 小屏顯示：640 × 480 像素 | ||
| 雙屏顯示：640 × 480 像素 × 2 | ||
| 信號(hào)混合模式 | ||
| 真空系統(tǒng) | 操作 | 全自動(dòng)程序 |
| 渦輪分子泵 | 210L/sec. × 1 | |
| 機(jī)械泵 | 135 L/min.(162 L/min. 60Hz) × 1 | |
| 安全措施 | 斷電保護(hù)，漏電保護(hù) | |
| 輔助功能 | 光柵旋轉(zhuǎn)，動(dòng)態(tài)消像散 | |
| 動(dòng)態(tài)聚焦/傾斜補(bǔ)償功能 | ||
| 自由排版打印功能，字母/數(shù)字功能 | ||
| 三維動(dòng)畫維修指南 | ||
| 導(dǎo)航，測(cè)量方便，傾斜畫面 | ||
