德國(guó)馬爾Marsurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測(cè)量?jī)x
德國(guó)馬爾Marsurf LD 120組合式輪廓和粗糙度測(cè)量?jī)x
德國(guó)Mahr Marsurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測(cè)量?jī)x
德國(guó)Mahr Marsurf LD 120組合式輪廓和粗糙度測(cè)量?jī)x

德國(guó)Mahr馬爾MarSurf UD 120 / LD 120 輪廓和粗糙度測(cè)量二合一
采用Mahr的計(jì)量技術(shù)，輪廓測(cè)量和粗糙度測(cè)量可以經(jīng)一次測(cè)量后同時(shí)解決。秉承這一的理念，Marsurf UD120和Marsurf LD120 可為您提供納米級(jí)分辨率的高精度測(cè)量。其中的技術(shù)包括：測(cè)頭更換裝置、根據(jù)測(cè)量操作的自動(dòng)識(shí)別系統(tǒng)等等…..

組合式的輪廓和粗糙度測(cè)量

·德國(guó)Mahr馬爾MarSurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測(cè)量?jī)x組合
Marsurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測(cè)量?jī)x是一次測(cè)量完成輪廓和粗糙度評(píng)定的通用基礎(chǔ)設(shè)備，它具有納米級(jí)的分辨率。

·德國(guó)Mahr馬爾MarSurf LD 120組合式輪廓和粗糙度測(cè)量?jī)x
德國(guó)Mahr馬爾MarSurf LD 120粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x多年來在客戶市場(chǎng)上，代表了輪廓和粗糙度測(cè)量的技術(shù)。其的技術(shù)參數(shù)，如殘余誤差Rz = 35 nm、動(dòng)態(tài)測(cè)力控制范圍0.5~30mN等，保證了設(shè)備能達(dá)到要求的準(zhǔn)確度，即使是精度的工件測(cè)量要求。
受通用軟件和自動(dòng)控制理念的支持，Marsurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測(cè)量?jī)x提供了一個(gè)具備Mahr技術(shù)的輪廓和粗糙度測(cè)量站。軟件控制建立在一個(gè)如今被叫做“MarWin”的軟件平臺(tái)之上，實(shí)現(xiàn)了模塊化和通用性，易于操作。Marsurf UD 120粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x隨機(jī)配備了XCR 20 CNC軟件包，提供了廣泛的測(cè)量和評(píng)定功能，尤其對(duì)于輪廓和粗糙度。驅(qū)動(dòng)軸和立柱升降軸可同坐操作桿進(jìn)行控制，也可通過程序控制。
·說明
- 一次測(cè)量完成粗糙度和輪廓評(píng)定
更少的時(shí)間、更快的操作、更可靠的結(jié)果、更高效的工作，僅僅一個(gè)測(cè)量，得到所有粗糙度和輪廓參數(shù)的結(jié)果。給您留下更多的時(shí)間完成其它任務(wù)！
-最現(xiàn)代的轉(zhuǎn)換科技，更適合小允差工件
由于設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)在大測(cè)量范圍上以高分辨率進(jìn)行高精度的測(cè)量，您可以為您的加工任務(wù)留出更小的允許誤差，而承擔(dān)新的挑戰(zhàn)。
-創(chuàng)新的測(cè)臂移動(dòng)概念實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性
移動(dòng)測(cè)臂，采用了橋式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，保證了的剛性、最小的測(cè)量震動(dòng)和平直度；這樣一來，使用中，您可以構(gòu)建任意尺寸的橋式結(jié)構(gòu)！
-測(cè)臂的磁性掛架
磁性的安裝設(shè)計(jì)可以確保系統(tǒng)高頻次的使用，碰撞安全保護(hù)，也可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)使用壽命。

德國(guó)Mahr馬爾MarSurf UD 120 / LD 120測(cè)量站原理

·測(cè)量站組成部分
驅(qū)動(dòng)器 MarSurf UD 120 /LD 120
Marsurf UD 120 / LD 120 驅(qū)動(dòng)器可輕易實(shí)現(xiàn)0.1mm到120mm的測(cè)量行程，速度控制在0.1到2mm/s以內(nèi)，由于X軸采用高精度光柵尺，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)定位。
·測(cè)頭系統(tǒng)工作原理
測(cè)頭工作原理是基于一個(gè)帶測(cè)尖的搖桿系統(tǒng)，搖桿的另一端是衍射柵格，可以測(cè)量搖桿的擺動(dòng)角度。發(fā)光二極管發(fā)出的光照射在衍射柵格上，產(chǎn)生干涉圖形。測(cè)尖的上升和下降都會(huì)使接收端的干涉圖形產(chǎn)生改變，后續(xù)的評(píng)定電路可以確定柵格的位置，也就確定了測(cè)尖的位置。
一個(gè)移動(dòng)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)用于Z方向的測(cè)頭定位，以確定測(cè)頭運(yùn)動(dòng)方向和實(shí)現(xiàn)測(cè)力控制。
為了滿足大多數(shù)常見的應(yīng)用，Marsurf LD120測(cè)頭組中默認(rèn)配備了LD A14-10-2 90°, LD A14-10-500 (LD 120), 和LD A14-10-2 60° (UD 120) 幾種測(cè)臂。測(cè)頭的剛骨架結(jié)構(gòu)保證了測(cè)量時(shí)的高直線性、高精度和高可靠性。
為了滿足其它不同的測(cè)量任務(wù)，還有多種幾何尺寸的測(cè)頭和測(cè)尖備選。根據(jù)您的測(cè)量任務(wù)的不同，你可以用2μm的金剛石測(cè)尖做粗糙度測(cè)量，也可以使用25μm的碳鋼測(cè)尖作輪廓測(cè)量，也可以使用紅寶石測(cè)球。用過這種不同的測(cè)尖選用，短波和長(zhǎng)波的輪廓組成部分就都可以在一次測(cè)回之后被記錄以及評(píng)定。
·UD 120 / LD 120進(jìn)行測(cè)量過程

簡(jiǎn)單、快速、可靠，一次直接測(cè)量工件得出結(jié)果:

德國(guó)Mahr馬爾MarSurf UD 120組合式輪廓和粗糙度測(cè)量?jī)x

·配置清單
MarSurf UD 120 測(cè)量站發(fā)運(yùn)清單
訂貨號(hào). 6910046
計(jì)算機(jī)，Marsurf XCR 20軟件 6268382
包括：Midrange 控制箱和軟件
多國(guó)語言版Win 7 62682xx
19“ TFT 液晶顯示器 5460043
Marsurf UD 120驅(qū)動(dòng)器 6720817
包含：測(cè)臂LD A 14-10-2/60° 6852005
手動(dòng)控制面板 MCP 21 7033935
測(cè)量立柱 ST 500 CNC，帶HZ調(diào)節(jié)
以及大理石平臺(tái) 6710254
包括：控制模塊 6851376
測(cè)頭 UD 120 / Ld 120
安裝在測(cè)量立柱 ST 500上 6851360
安全裝置 UD 120 / LD 120 7033457
校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn) 6820121
X/Y 工作臺(tái) CT 200 6710530
防震墊 6851368
·技術(shù)參數(shù)
測(cè)量系統(tǒng) 光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)
行程長(zhǎng)度 0.1 mm ~ 120 mm
測(cè)頭測(cè)量范圍 10 mm ~ 20 mm (采用雙倍長(zhǎng)度測(cè)臂)
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)尖 Ld a14-10-2/60°, 金剛石2 μm, 60° (6852005)
Z向分辨率 2 nm
水平測(cè)量軸 光柵
X方向點(diǎn)距 0.25 μm ~ 1μm
殘余誤差 60 nm
接觸力 1 mn ~ 30 mn，可通過軟調(diào)節(jié)
測(cè)量速度 0.1 mm/s ~ 2.0 mm/s，可以0.1mm增量增加，用于輪廓測(cè)量≤ 0.5 mm/s，用于粗糙度測(cè)量
返程速度
X方向定位速度 4 mm/s
接觸.2 μm
距離測(cè)量顯示誤差， MPeea ± (1 +2L/150) μm
例如：測(cè)量距離50 mm時(shí)，誤差為 ± 1.66 μm
角度測(cè)量誤差 1.5 min
半徑測(cè)量誤差 MPerr ≤ 10 mm ± 1.5 μm
10 mm < r ≤ 100 mm ± (3r/20) μm
r > 100 mm ± (7.5 + 9r/40) μm
例如：r 10 mm，誤差為 ± 1.5 μm
一般參數(shù)
工作環(huán)境溫度 15 °c ~ 30 °c
建議工作溫度 20 °c ± 2 K
存放溫度/運(yùn)輸溫度 0 °c ~ 40 °c (于專用運(yùn)輸箱內(nèi))
相對(duì)濕度 30 % ~ 80 %
·附件
在 MarSurf UD 120 / LD 120上進(jìn)行簡(jiǎn)單而準(zhǔn)確的測(cè)臂更換
對(duì)大多數(shù)的工件來說，標(biāo)準(zhǔn)配置的測(cè)頭就可以在多種測(cè)量位置上進(jìn)行輪廓和粗糙度的測(cè)量。但是，并不是所有測(cè)量任務(wù)都可以用一個(gè)測(cè)臂完成，比如：小孔內(nèi)的測(cè)量、深溝槽內(nèi)的測(cè)量、上下雙向測(cè)量，以及其它測(cè)量任務(wù)。這時(shí)，更換測(cè)臂也非常簡(jiǎn)單。不需要任何工具，磁性裝夾的測(cè)臂可以輕易地用手摘下，換上另一個(gè)測(cè)臂，不過幾秒鐘時(shí)間。一個(gè)球形的定位器可以保證定位精確到以微米計(jì)。
只要換上的測(cè)臂已經(jīng)校準(zhǔn)過，校準(zhǔn)參數(shù)就已經(jīng)保存了，這意味著：更換測(cè)臂后無需重新校準(zhǔn)！
從操作方便和節(jié)省時(shí)間的角度來看，這是 Marsurf UD 120的一個(gè)實(shí)質(zhì)性優(yōu)點(diǎn)!

德國(guó)Mahr馬爾MarSurf LD 120組合式輪廓和粗糙度測(cè)量?jī)x
·MarSurf LD 120測(cè)量站發(fā)貨清單
訂貨號(hào) 6910046
計(jì)算機(jī)，帶Marsurf XCR 20軟件 6268382
包括：Midrange控制器和軟件
多國(guó)語言版Win XP 62682xx
19“ TFT 液晶顯示器 5460043
Marsurf UD 120驅(qū)動(dòng)器 6720814
包括： 測(cè)臂
手動(dòng)控制面板 MCP 21 7033935
ST 500 CNC 立柱 6710254
帶HZ調(diào)節(jié)和大理石平板
包括：控制模塊 6851376
UD 120 / LD 120測(cè)頭
安裝于ST 500測(cè)量立柱上 6851360
UD 120 / LD 120安全保護(hù)裝置 7033457
校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn) 6820121
X/Y 向工作臺(tái)CT 200 6710530
防震墊 6851368
·技術(shù)參數(shù)
測(cè)量系統(tǒng) 光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)
行程長(zhǎng)度 0.1 mm ~ 120 mm
測(cè)頭測(cè)量范圍 10 mm ~ 20 mm (采用雙倍長(zhǎng)度測(cè)臂)
標(biāo)準(zhǔn)測(cè)尖 Ld a14-10-2, 金剛石2 μm, 90° (6852002)
Ld a 14-10-500, 紅寶石測(cè)球，500μm (6852003)
Z向分辨率 2 nm
水平測(cè)量軸 光柵
X方向點(diǎn)距 0.05 μm ~ 1μm
殘余誤差 35 nm
接觸力 0.5 mn ~ 30 mn，可通過軟調(diào)節(jié)
測(cè)量速度 0.5 mm/s ~ 2.0 mm/s，可以0.1mm增量增加，用于輪廓測(cè)量≤ 0.5 mm/s，用于粗糙度測(cè)量
返程速度
X方向定位速度 4 mm/s
接觸.1 μm
距離測(cè)量顯示誤差，MPeea ± (1 +L/100) μm
例如：測(cè)量距離50 mm時(shí)，誤差為 ± 1.5 μm
角度測(cè)量.5 min
半徑測(cè)量誤差 MPerr ≤ 10 mm ± 1.5 μm
10 mm < r ≤ 300 mm ± (r/10) μm
r > 300 mm ± (30 + r/5) μm
例如：r 10 mm，誤差為 ± 1.5 μm
一般參數(shù)
工作環(huán)境溫度 15 °c ~ 30 °c
建議工作溫度 20 °c ± 2 K
存放溫度/運(yùn)輸溫度 0 °c ~ 40 °c (于專用運(yùn)輸箱內(nèi))
相對(duì)濕度 30 % ~ 80 %
·MarSurf LD 120 附件

MarSurf LD 120帶來的準(zhǔn)確度
正如前面列出的LD 120的技術(shù)參數(shù)值所示，35nm 的殘余誤差值、2nm 的分辨率、0.5~30mN 的穩(wěn)定測(cè)力、最小0.05μm 的測(cè)量點(diǎn)距，LD120測(cè)頭能使微觀表面上和邊緣倒角上的精確測(cè)量變得可能。但對(duì)于客戶來說，更關(guān)鍵的是訂購的設(shè)備是不是能夠順利的通過驗(yàn)收，以及設(shè)備的能力是否能滿足測(cè)量任務(wù)的要求。
Marsurf LD 120已經(jīng)通過了世界范圍數(shù)百家客戶的測(cè)試和證明。通過機(jī)械技術(shù)、光學(xué)技術(shù)、控制技術(shù)和軟件技術(shù)的優(yōu)化交互使用保證了測(cè)量的高準(zhǔn)確度，您可以通過該設(shè)備的測(cè)量可靠地將尺寸誤差控制到微米級(jí)別。

應(yīng)用舉例