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廣電計量檢測集團股份有限公司

6~8英寸標準型等離子刻蝕機...

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市東信高科自動化設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號TS-VPK
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/11/22 16:46:47
  • 訪問次數(shù)414
產(chǎn)品標簽:

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深圳市東信高科自動化設(shè)備有限公司始創(chuàng)于1998年,是中國早期一批專業(yè)從事真空及大氣低溫等離孑體(電漿)技術(shù)、射頻及微波等離子體技術(shù)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的國家髙新技術(shù)企業(yè),隸屬于東信髙科等離子科技(香港)控股有限公司,總部設(shè)于香港。目前公司設(shè)立有等離子事業(yè)部,超聲清洗事業(yè)部,自動化設(shè)備事業(yè)部,塑膠焊接事業(yè)部。產(chǎn)品涉及等離子體表面處理設(shè)眢,超聲波淸洗設(shè)備、電鍍、制冷等環(huán)保自動化設(shè)備等。公司現(xiàn)有廠房面積7000余平方米,員工150人以上,其中博士生5人,高級研發(fā)工程師近40余人,售后服務(wù)25余人。 為適應(yīng)國內(nèi)外市場對等離子體表面處理工藝的需求,東信高科等離子事業(yè)部聯(lián)合德國等離孑體硏究所,中囯等離子硏究所,囯內(nèi)外科硏機構(gòu),投入相當大的硏發(fā)成本,先后硏發(fā)岀了等離子清洗機、等離子刻蝕機、等離子去膠機、等離子表面處理設(shè)備、電漿清洗機及常壓等離子打磨、拋光系統(tǒng)等。目前產(chǎn)品廣泛服努于包裝、塑料制品、通訊、汽車、家電、光電、紡織、半導(dǎo)體及精密制造行業(yè)在表面涂裝、表面粘接、表面清潔方面尤為突岀。通過多年的市場實踐及等離子新技術(shù)研究和應(yīng)用,成功的推動了我國低溫等離子技術(shù)在等離子體塵埃、晶體、材料合成、微米納米技術(shù)、化工、環(huán)保、表面聚合、表面接枝、表面刻蝕、表面催化、金屬滲氮、化學(xué)合成和和氣、液、固態(tài)物質(zhì)的處理方面的發(fā)展。 憑借公司的強大研發(fā)實力,東信高科已成功申請多項技術(shù)。目前經(jīng)過近二十年的發(fā)展,公司產(chǎn)品先后經(jīng)過了四次升級換代,公司先后與富士康公司、美國AAC集團、愛普生電子、中國兵器集團、、中國、、東南大學(xué)光電實驗室、藍思科技、長方照明、歐菲光科技、伯恩光學(xué)、信利光電、德昌電機、深圳比亞迪股份、大疆創(chuàng)新、國顯科技、吉利汽車等世界企業(yè)和硏究單位達成戰(zhàn)略合作協(xié)議,成為上述企業(yè)和單位的設(shè)備供應(yīng)商。公司秉承誠信、拼搏、創(chuàng)新的精神理念,以人為本、高效服務(wù)的經(jīng)營理念,立足中國,面向,打造的等離子表面處理設(shè)備供應(yīng)商和服務(wù)商!
產(chǎn)品簡介: 標準6~8英寸晶圓片刻蝕機,用于手機、半導(dǎo)體電子等多個行業(yè)
6~8英寸標準型等離子刻蝕機... 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品特點


應(yīng)用領(lǐng)域:適用于大學(xué)、研究院所、企業(yè)研發(fā)禮構(gòu)通用的等離子體刻蝕的科研與教學(xué)或者小批量量產(chǎn)。

等離子刻蝕方式:RIE反應(yīng)離子刻蝕或者ICP模式離子刻蝕(根據(jù)用戶需求定制)

樣片數(shù)量及尺寸:1片φ6英寸、8英寸

刻蝕材料:包括并不限于單晶硅、多晶硅、Si02,Si3N4,Ti,W、聚合物等

刻蝕腔體:高真空系統(tǒng)

刻蝕不均勻性:±3%-+6%

刻蝕速率:0.1-4um/min(視具體材料與工藝)

工作臺:可升降,包含水冷

電源配置:上電極射頻,下電極偏壓,包含自動匹配

氣路數(shù)量與種類:6路耐氟基腐蝕氣路或用戶選配

操作模式:PLC+電腦顯示屏,全自動+半自動控制


關(guān)鍵詞:工作臺
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