1 產(chǎn)品簡介
本產(chǎn)品設(shè)計用于滿足STG-AT01與STG-3020中間的水蒸氣發(fā)生需求。其蒸發(fā)量范圍為(0.1-1.0)g/min,上限還可以擴(kuò)展到2.0 g/min,而STG-3020在該區(qū)間內(nèi)的流量穩(wěn)定性不足。本產(chǎn)品同樣具有STG-AT01的高精度和連續(xù)調(diào)節(jié)能力。
STG3001內(nèi)置帶有自動水位控制的去離子水儲罐,有一路質(zhì)量流量計進(jìn)行載氣計量,同時帶有預(yù)熱混合器和觸摸屏控制,是一款全功能型發(fā)生器。
2 規(guī)格參數(shù)
蒸發(fā)量 sccm | 0.1-1.0(上限可拓寬到2.0) |
流量總量精度% | 優(yōu)于±1 |
流量波動% | 優(yōu)于±2 |
輸出溫度℃ | ≤200 |
最大耐壓 bar | 15 |
功率 kW | 1.0 |
輸出接口 | Ф6直管 |
外形尺寸mm | |
重量kg | 10 |
可加裝配件 | (1) 已內(nèi)置預(yù)熱混合器 (2) 液位自動控制 (3) 輸出伴熱定制 |