FS4000是采用的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）

FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量范圍***大到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。

FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量范圍***大到50SLPM；可用于麻醉設備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等

產品特點:

   - 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計

  - 支持多種連接方式，易于安裝與使用

    - 傳感芯片采用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的高精度計量

    - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高

    - 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓

    - 零點穩(wěn)定度高

    - 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復性

    - 低功耗、低壓損

    - 響應速度快